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DS-2000/14G型光刻機

簡要描述：DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-06-04
  • 訪  問  量：2496

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
儀器種類微流控芯片系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子
產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機
主要技術(shù)指標(biāo)：
單次曝光面積：1.4mm×1mm;
大曝光基片：100mm ×100mm ;
對準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動對準(zhǔn)）;
大膠厚：300μm（SU8膠）;
自動逐場對焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺 ;
X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ）;
Z向運動精度：1μm。
DS-2000/14G型光刻機技術(shù)特點：
該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。


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