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熱壓鍵合機(jī)操作應(yīng)嚴(yán)格按照以下步驟進(jìn)行

更新時(shí)間:2021-10-25      點(diǎn)擊次數(shù):2716
  熱壓鍵合機(jī)在真空加熱爐內(nèi)安裝上下壓板,該機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,操作方便,用于將樣品置于兩塊壓板之間進(jìn)行熱壓。設(shè)備配備兩臺(tái)數(shù)顯溫控表,可控制兩塊壓板的加熱或冷卻,還可設(shè)定加熱和冷卻時(shí)間。
  熱壓鍵合機(jī)采用恒溫控制加熱技術(shù),控溫準(zhǔn)確;鋁合金工作平臺(tái),上下平坦,導(dǎo)熱快,導(dǎo)熱均勻;加熱面積大,覆蓋常用芯片;風(fēng)冷和均勻的冷卻速度有利于提高粘接效果;壓力準(zhǔn)確可調(diào),不同物料選擇不同壓力控制;采用*的真空熱壓系統(tǒng),在不損傷芯片的情況下大大提高了鍵合度。
  熱壓鍵合機(jī)操作應(yīng)嚴(yán)格按照以下步驟進(jìn)行:
  1、檢查真空熱壓合機(jī)、真空泵、空壓機(jī)電源線是否連接正確,檢查各部分氣體管路連接是否正確,關(guān)閉系統(tǒng)各部分閥門(mén)和開(kāi)關(guān)。
  2、將待粘合芯片置于工作平臺(tái)(或相應(yīng)夾具)中間,調(diào)整氣缸行程,關(guān)閉艙門(mén),打開(kāi)真空泵,將熱壓機(jī)內(nèi)的空氣抽出。
  3、按下氣缸控制開(kāi)關(guān),確定芯片上的壓力。
  4、溫度設(shè)定:將上下板的溫度調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)到需要的溫度。
  5、按下上下板溫控開(kāi)關(guān),開(kāi)始加熱貼片。
  6、熱壓粘合完成后,關(guān)閉上下板溫控開(kāi)關(guān),使加熱板停止工作。
  7、待溫度自然冷卻至工藝參數(shù)后,加空氣平衡內(nèi)外壓力。
  8、打開(kāi)艙門(mén),采用氣動(dòng)風(fēng)冷方式,加快降溫速度。
  9、當(dāng)溫度降到50℃以下時(shí),按下氣缸按鈕,提起氣缸,完成粘接。
 
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